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H94-30型（LED）4″雙面光刻機(jī) 光刻機(jī)廠家 供應(yīng)光刻機(jī) 光刻機(jī)批發(fā)

單價(jià)： ￥340000.00    元 / 臺(tái)

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累計(jì)評(píng)價(jià)
品牌 : 南光真空
銷量 : 累計(jì)出售 0 臺(tái)
發(fā)貨地 : 四川省-成都市-成華區(qū)
有效期至 : 長(zhǎng)期有效
數(shù)量 : 減少 增加臺(tái) 庫(kù)存100臺(tái)
更新 : 2022-03-11
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公司基本資料信息
 
  
主要功能特點(diǎn)：
1.適用范圍廣
適用于φ100mm以下厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對(duì)準(zhǔn)曝光。
2.分辨率高
采用高均勻性的多點(diǎn)光源（蠅眼）曝光頭，非常理想的三點(diǎn)式自動(dòng)找平機(jī)構(gòu)和穩(wěn)定可靠的真空密著裝置，使本機(jī)的曝光分辨率大為提高。
3.套刻精度高、速度快
采用版不動(dòng)片動(dòng)的下置式三層導(dǎo)軌對(duì)準(zhǔn)方式，使導(dǎo)軌自重和受力方向保持一致，自動(dòng)消除間隙；承片臺(tái)升降采用無(wú)間隙滾珠直進(jìn)導(dǎo)軌、氣動(dòng)式Z軸升降機(jī)構(gòu)和雙簧片微分離機(jī)構(gòu)，使本機(jī)片對(duì)版在分離接觸時(shí)漂移特小，對(duì)準(zhǔn)精度高，對(duì)準(zhǔn)速度快，從而提高了版的復(fù)用率和產(chǎn)品的成品率。
4.可靠性高
采用PLC控制、進(jìn)口電磁閥和按鈕、獨(dú)特的氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和經(jīng)過(guò)精密機(jī)械制造工藝加工的零件，使本機(jī)具有非常高的可靠性且操作、維護(hù)、維修簡(jiǎn)便。